Lab im Cleanroom,

nachdem wie heute wieder ausschlafen konnten (ging aber wegen Sonnenstrahlen im Zimmer nicht ganz so gut), fand heute Nachmittag das erste Praktikum in Cleanroom statt. Im Kurs Fundamentals in micro - und nanotechnology werden wir insgesamt zwei Prakitka im Cleanroom des MC2 haben (Department of micro - and nanotechnology Chalmers 2). Die Praktika finden jeweils in 8er Gruppen statt und heute hat es leider nur eine Stunde gedauert. Aber ich bin wirklich überrascht, was die für uns vorbereitet hatten.
Aber der Reihe nach:
Es gibt insgesamt zwei cleanrooms in Chalmers: Einen mit Schuhüberzieher, Jacket, Haarschutz und Plastikhandschuhe und einen mit total Overall, Mundschutz und und und...
Unser Praktikum heute fand im "nicht so sauberen" Cleanroom statt.
Vorbereitung: Jeder, der den Cleanroom betritt muss erstmal blaue Überzieher über die Schuhe ziehen, dann eine Haarhaube auf, ne Jacke an und zum Schluss noch Plastikhandschuhe!
Unser Thema heute war Photolitographie - transferring patterns onto a wafer. Jeder bekam einen Siliziumwafer (ca. 5 x 5 cm) und musste mit Hilfe des Photoresist die mask auf den Wafer bringen. Soll jetzt hier nicht näher beschrieben werden - wer es wissen will, soll sich melden!
Auf jeden Fall hat es eine Mnege Spaß gemacht. und den wafer werden wir jetzt morgen im SEM Praktikum gleich noch etwas genauer untersuchen.

Saubere Grüße
Patrick